Сканирующий (растровый) электронный микроскоп с двойным лучом Scios 2

Технический параметр

Значение

Разрешение электронного пучка

• Оптимальное рабочее расстояние (WD)
• 0.7 нм при 30 кэВ в режиме STEM
• 1.4 нм при 1 кэВ
• 1.2 нм при 1 кэВ с торможением пучка

Параметры электронного пучка

• Диапазон тока пучка: 1 пА до 400 нА
• Диапазон энергии посадки: 20* эВ – 30 кэВ
• Диапазон ускоряющего напряжения: 200 В – 30 кВ
• Максимальная ширина горизонтального поля: 3.0 мм при 7 мм WD и 7.0 мм при 60 мм WD
• Доступность сверхширокого поля зрения (1×) через стандартный монтаж навигации

Ионная оптика

• Ускоряющее напряжение: 500 В – 30 кВ
• Диапазон тока пучка: 1.5 пА – 65 нА
• 15-позиционная апертурная полоса
• Режим подавления дрейфа по умолчанию для некондуктивных образцов
• Минимальный срок службы источника: 1,000 часов
• Разрешение ионного пучка: 3.0 нм при 30 кВ с использованием метода выборочного края

Детекторы

• Система детекции Trinity (в линзе и в колонне)
• T1 сегментированный нижний детектор в линзе
• T2 верхний детектор в линзе
• T3 выдвижной детектор в колонне (опционально)
• До четырех одновременно детектируемых сигналов
• Детектор вторичных электронов Everhart-Thornley (ETD)
• Высокопроизводительный ионный преобразователь и электронный (ICE) детектор для вторичных ионов (SI) и электронов (SE) (опционально)
• Выдвижной детектор обратного рассеяния электронов (DBS) с низким напряжением и высоким контрастом, сегментированный, твердотельный (опционально)
• Выдвижной детектор STEM 3+ с сегментами BF/DF/HAADF (опционально)
• Инфракрасная камера для наблюдения за образцом и камерой
• Навигационная камера Nav-Cam в камере (опционально)
• Интегрированное измерение тока пучка

Стол и образец

• Гибкий 5-осевой моторизованный стол:
• Диапазон XY: 110 мм
• Диапазон Z: 65 мм
• Вращение: 360° (непрерывное)
• Диапазон наклона: -15° до +90°
• Повторяемость XY: 3 мкм
• Макс. высота образца: Просвет 85 мм до эвцентрической точки
• Макс. вес образца при 0° наклоне: 5 кг (включая держатель образца)
• Макс. размер образца: 110 мм с полным вращением (больший образец возможен с ограниченным вращением)
• Компьюцентрическое вращение и наклон