Сканирующий (растровый) электронный микроскоп Quattro ESEM

Технический параметр

Значение

Разрешение

• Высоковакуумная визуализация
  • 0,8 нм при 30 кВ (STEM)
  • 1,0 нм при 30 кВ (SE) в высоком вакууме
  • 1,3 нм при 30 кВ (SE) в режиме низкого вакуума и ESEM
  • 3,0 нм при 1 кВ (SE)

Стандартные детекторы

• ETD, низковакуумный SED (LVD), газовый SED для режима ESEM (GSED), ИК-камера

Дополнительные детекторы

• Nav-Cam+, DBS, DBS-GAD, ESEM-GAD, ICD, STEM 3+, WetSTEM, RGB-CLD, EDS, EBSD, WDS, Raman, EBIC и т. д.

Технология ChemiSEM (опционально)

• Живая количественная заливка изображений SEM на основе энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDS). Включены точки и идентификаторы, линии, регион, карты элементов и точное количественное определение состава.

Смещение напряжения  (замедление луча, опционально)

• -4000 В до +50 В

Режим низкого вакуума

• До 2600 Па (H2O) или 4000 Па (N2)

Манипулятор

• 5-осевая моторизованная эвцентрическая схема, 110 x 110 мм2 с диапазоном наклона 105°. Максимальный вес образца: 5 кг в ненаклонном положении.

Стандартный держатель образца

• Стандартный держатель SEM с несколькими образцами монтируется непосредственно на манипуляторе, содержит до 18 стандартных монтажных шайб (⌀ 12 мм), не требует инструментов для монтирования образца

Камера

• Внутренняя ширина 340 мм, 12 портов, возможны три одновременных детектора EDS, два на 180°, копланарный EDS/EBSD ортогональный к оси наклона столика образцов

In-Situ аксессуары (опционально)

• от -20° C до +60° C охлаждение Пельтье, интеграция в ПО
• 1000° C низковакуумная/ESEM система нагрева, интеграция в ПО
• Программно управляемая система нагрева 1100° C для режима высокого вакуума
• 1400° C низковакуумная/ESEM система нагрева, интеграция в ПО
• Интегрированный газовый блок: до 2 единиц (другие аксессуары могут ограничить количество доступных газовых вводов) для индуцированного лучом осаждения следующих материалов:
  • Платина
  • Вольфрам
  • Углерод
• Манипуляторы
• Криодержатель
• Электрические зондирующие / многозондовые станции

Варианты программного обеспечения

• Программное обеспечение для карт для автоматического захвата больших площадей с использованием плитки и сшива; корреляционные методики
• Программное обеспечение AutoScript 4; интерфейс прикладного программирования на основе Python
• Программное обеспечение для генерации шаблонов
• Программное обеспечение Thermo Scientific TopoMaps для раскраски изображений, анализа изображений и 3D-реконструкции поверхности