МОДЕЛЬ 1080 PicoMill® – система подготовки образцов для просвечивающей электронной микроскопии (ТЕМ)

Применение

• Основное: Подготовка образцов для трансмиссионной электронной микроскопии (ТЕМ) в микроэлектронике и полупроводниках
• Второстепенное: Любые другие образцы, требующие оптимальных результатов
  Идеально подходит для случаев, когда подготовка с использованием FIB сочетается с ТЕМ с коррекцией аберраций

Источник ионов

• Безмасляный турбомолекулярный насос с диафрагменным насосом многоступенчатой конструкции.

Электронный источник

• Ускоряющее напряжение до 10 кэВ
• Рабочее расстояние 16 мм
• Фарадеевская чашка для контроля тока электронного пучка, диапазон 1–2000 пА

Держатель

• Боковой вход, тип TEM
• Совместим со всеми основными ТЕМ

Наведение ионного пучка

• Ионный пучок может быть наведён на конкретную точку поверхности образца или сканироваться в выбранной области

Пользовательский интерфейс

• Меню с отображением состояния системы

Газ

• Газ для источника ионов: аргон ультрачистый (UHP) 99,999%
• Контроль газа: автоматический с использованием технологии массового расхода
• Контрольный газ: азот, аргон или чистый сухой воздух (CDA) при давлении 2–7 бар

Визуализация

• Детектор вторичных электронов / детектор Эверхарта-Торнли (Everhart-Thornley)
• Электронная визуализация с полем зрения 2 мм
• Визуализация вторичных электронов, индуцированных ионами, с полем зрения 1,9 мм
• Изображение образца отображается на пользовательском интерфейсе системы PicoMill

Твердотельный детектор обратных рассеянных электронов

• Твердотельный детектор для сканирующей / трансмиссионной электронной микроскопии (STEM)

Вакуумная система

• Турбомолекулярный насос с поддержкой безмасляного механического насоса
  Давление в камере образца:
  • Базовый вакуум: 3 × 10⁻⁶ мбар
  • Рабочий вакуум: 1 × 10⁻⁴ мбар
• Базовый вакуум электронной колонны: 1 × 10⁻⁶ мбар
• Гониометр образца: атмосфера до 1 мбар (предварительная откачка)
• Вакуумные датчики:
  • Холодный катод для камеры образца и электронной колонны
  • Пиррани-датчик для гониометра

Автоматическое завершение процесса

• Завершение по времени или вручную

Габариты

• Ширина: 205,51 см [80,75 дюймов]
• Высота: 146,94 см [57,85 дюймов]
• Глубина: 127,33 см [50,13 дюймов]

Вес

• 227 кг [500 фунтов]

Электропитание

• 208–240 В AC, 50/60 Гц, 1 100 Вт

Гарантия

• Один год