МОДЕЛЬ 1040 Система подготовки образцов TEM NanoMill®

Источник

• Ионный источник на основе нити в сочетании с системой электростатических линз
• Переменное напряжение 50 эВ – 2 кВ, непрерывно регулируемое
• Плотность тока пучка до 1 мА/см²
• Диаметр пучка до 1 мкм при 2 000 эВ
• Фарадеевская чаша для контроля тока ионного пучка, диапазон 1–2 000 пА
• Апертуры с возможностью замены в поле

Контроль положения образца

• Загрузочный шлюз позволяет менять образец менее чем за 10 секунд
• Стержень для переноса образца
• Диапазон угла обработки: −10° до +30°
• Стол вращается по часовой стрелке и против неё; максимальный угол 180°
• Вращение стола позволяет горизонтально выровнять образец для точного позиционирования зоны травления

Вакуумная система

• Турбомолекулярный драг-насос с поддержкой безмасляного мембранного насоса
• Измерение вакуума камеры комбинированным холоднокатодным и пирометрическим манометром, диапазон: атмосферное давление – 1 × 10⁻⁸ мбар
• Базовый вакуум системы: 3 × 10⁻⁷ мбар
• Рабочий вакуум: 1 × 10⁻⁴ мбар

Газ

• Автоматизированное управление с технологией массового расхода
• Расход до 2 ссм³/мин
• Встроенный фильтр частиц
• Инертный газ (аргон), рекомендуемая чистота 99,999%

Наведение пучка на образец

• Ионный пучок может быть направлен на одну точку поверхности образца или сканироваться по выбранной области

Интерфейс пользователя

• Простое меню для управления системой

Освещение камеры

• Регулируемое пользователем для удобства замены образца

Охлаждение образца

• Проводящее охлаждение жидким азотом с автоматическими температурными блокировками
• Температура стола до −170 °C
• Время охлаждения системы < 20 минут
• Время охлаждения образца < 5 минут
• Время удержания в дьюаре до 6 часов

Автоматическое завершение процесса

• Завершение по времени или температуре

Визуализация

• Технология визуализации на основе SED
• Поле зрения 1,8 мм
• Детектор Everhart-Thornley
• Изображение образца отображается на графическом интерфейсе

Габариты и масса

• 991 мм [39 дюймов] ширина × 1 474 мм [58 дюймов] высота × 788 мм [31 дюйм] глубина
• Масса: 230,5 кг [507 фунтов]

Электропитание

• 110/220 В AC, 50/60 Гц, 1 000 Вт

Гарантия

• Один год