Модель 1061 SEM Mill

Источники

• Два источника ионов TrueFocus
• Переменное напряжение работы: 100 эВ – 10,0 кэВ
• Плотность тока пучка до 10 мА/см²
• Диапазон угла фрезерования: 0 до +10°
• Возможность работы с одним или двумя источниками ионов
• Регулировка угла источника ионов вручную или моторизованно (опция)
• Независимое управление энергией источника ионов
• Регулируемый размер пятна
• Фарадеевы чашки для прямого измерения тока пучка каждого источника; позволяют оптимизировать и настраивать параметры источника для конкретных приложений

Станина для образца

• Сечение:

Максимум: 10 x 10 x 4,0 мм

Минимум: 3 x 3 x 0,7 мм

• Плоский образец: 32 мм диаметр x 25 мм высота
• Автоматическое определение толщины образца для установки плоскости фрезерования и максимизации производительности
• Вращение образца на 360° с переменной скоростью
• Колебание образца
• Магнитный энкодер обеспечивает абсолютную точность позиционирования

Пользовательский интерфейс

• Управление через 254 мм (10 дюймов) сенсорный экран, эргономично регулируемый

Вакуумная система

• Турбомолекулярный насос с масляным отсосом и безмасляный многокамерный диафрагменный насос
• Вакуумное измерение с холодным катодом и полным диапазоном

Процессный газ

• Ультрачистый аргон (99.999%), номинальное давление 15 psi
• Автоматическое регулирование газа с помощью двух массовых расходомеров

Автоматическое завершение процесса

• Завершение по времени или температуре

Наблюдение и изображение in situ

• Образец можно контролировать в процессе фрезерования с помощью стерео- или высокомагнификационного микроскопа
• Окно защищено программируемой шторкой, предотвращающей накопление материала

Охлаждение образца (опция)

• Кондуктивное охлаждение жидким азотом с интегрированным дьюар и автоматическими термопредохранителями
• Дьюар расположен рядом с оператором
• Возможность поддерживать заданную температуру от комнатной до криогенной
• Выбор вместительности дьюара:
• Стандартный (3–5 часов криоусловий)
• Расширенный (12+ часов криоусловий)

Капсула для вакуумного или инертного переноса (опция)

• Позволяет переносить или хранить образец в вакууме или инертном газе

Станция для сечения (опция)

• Создает идеальные сечения образцов
• Фиксация образца с помощью клея
• Точное позиционирование зоны интереса (X, Y, θ)
• Эффективно для различных материалов: полупроводники, многослойные структуры, керамика, твердые/хрупкие материалы
• Подготовленная область плоская и без повреждений для последующего SEM

Станция с зажимом (опция)

• Создает идеальные сечения без клея
• Позволяет точно позиционировать образец
• Эффективно для различных материалов
• Подготовленная область плоская и без повреждений для последующего SEM

Стек-индикатор (опция)

• Показывает состояние фрезерования с расстояния

Микроскоп (опция)

• Окно загрузки поддерживает:
• 7–45X стерео микроскоп
• 525X высокомагнификационный микроскоп с CMOS камерой для выборочного захвата изображения
• 1,960X высокомагнификационный микроскоп с CMOS камерой

Освещение образца

• Верхнее и нижнее регулируемое освещение для микроскопов

Корпус

• Ширина: 127 см (50 дюймов)
• Высота: 61 см (32 дюйма) – минимум, 77 см (38 дюймов) – максимум с опциями
• Глубина: 102 см (40 дюймов)
• Конструкция корпуса обеспечивает удобный доступ для обслуживания

Вес

• 73 кг (161 фунт)

Питание

• 100/120/220/240 В, 50/60 Гц, 720 Вт

Гарантия

• Один год