МОДЕЛЬ 1051 TEM MILL (установка для подготовки образцов для трансмиссионной электронной микроскопии)

Источники

• Два источника ионов TrueFocus
• Переменная энергия работы: 100 эВ – 10 кВ
• Плотность тока пучка до 10 мА/см²
• Диапазон углов травления: −15° до +10°
• Возможность работы с одним или двумя источниками
• Независимое управление энергией каждого источника
• Ручная или моторизованная (опция) регулировка угла источника
• Регулируемый размер пятна
• Фарадеевы чашки для прямого измерения тока пучка каждого источника; позволяют оптимизировать параметры источника для конкретных приложений

Держатель образца

• Разработан для улучшенного обращения с образцом и теплоотведения; включает станцию загрузки
• Механизм зажима позволяет легко загружать образец и проводить двустороннее травление до 0° без затенения
• Опционально: держатель и станция загрузки с возможностью регулировки по осям X-Y

Стадия образца

• Размер образца: 3 мм диаметр × 250 мкм толщина
• Вращение на 360° с регулируемой скоростью и последовательностью облучения
• Качание образца
• Магнитный энкодер обеспечивает абсолютную точность позиционирования

Автоматизация завершения процесса

• По времени, температуре или лазерному фотодетектору (опция)

Вакуумная система

• Турбомолекулярный драг-помпа и безмасляный многоступенчатый диафрагменный насос
• Измерение вакуума с использованием холодного катода и полнодиапазонного датчика
• Опционально: капсула для переноса или хранения образца в вакууме или инертной атмосфере

Рабочий газ

• Аргон ультрачистый (UHP, 99,999%), номинальное давление 15 psi
• Автоматическое управление газом с помощью двух массовых расходомеров

Пользовательский интерфейс

• Управление прибором через 10-дюймовый регулируемый сенсорный экран
• Опционально: индикатор состояния работы (stack light) для наблюдения за процессом на расстоянии

Микроскоп (опция)

• Стереомикроскоп с увеличением 7–45X для наблюдения образца
• Высокоувеличительный микроскоп 1,960X с CMOS-камерой для позиционно-специфичного визуального контроля

Наблюдение и съемка in situ

• Образец можно контролировать прямо в позиции травления с помощью стерео или высокоувеличительного микроскопа
• Просмотровое окно защищено программируемой шторкой, предотвращающей оседание материала и позволяющей наблюдать образец

Освещение образца

• Под образцом расположено регулируемое источником света трансмиссионное освещение
• Оба микроскопа обеспечены регулируемым отражённым освещением сверху

Корпус

• Ширина (с учётом доступа для обслуживания): 127 см
• Высота: минимальная без микроскопа или индикатора: 61 см, максимальная с индикатором: 77 см
• Глубина (с учётом доступа и потока воздуха вентилятора): 102 см
• Корпус обеспечивает лёгкий доступ к внутренним компонентам для технического обслуживания

Вес

• 73 кг

Электропитание

• 100/120/220/240 В, 50/60 Гц, 720 Вт

Гарантия

• Один год