Аналитический электронный микроскоп атомного разрешения JEM-ARM200F NEOARM

“NEOARM” / JEM-ARM200F оснащен уникальной пушкой JEOL с холодной полевой эмиссией (Cold FEG) и новым Cs-корректором (ASCOR), компенсирующим аберрации высшего порядка. Сочетание Cold FEG и ASCOR позволяет получать изображения с атомным разрешением не только при ускоряющем напряжении 200 кВ, но и при низком напряжении 30 кВ.
“NEOARM” также оснащен автоматизированной системой коррекции аберраций, включающей новый алгоритм коррекции аберраций JEOL для автоматической, быстрой и точной коррекции аберраций. Эта система обеспечивает более высокую пропускную способность при получении изображений с атомным разрешением.
Кроме того, в стандартную комплектацию входит новый STEM-детектор, обеспечивающий повышенную контрастность светлых элементов. Повышение контрастности светлых элементов достигается благодаря новой технологии STEM-визуализации (e-ABF: улучшенный ABF), что облегчает наблюдение за материалами, содержащими светлые элементы, даже при низких ускоряющих напряжениях.
Комната микроскопа отделена от операционной для возможности удаленного управления. Кроме того, были приняты новые концептуальные цвета продукции JEOL: «чистый белый» и «JEOL silver», что привело к изысканному внешнему дизайну «NEOARM».

Корректор сферической аберрации (Cs) ASCOR (Advanced STEM Corrector)

Технология ASCOR, встроенная в «NEOARM», способна подавить шестикратный астигматизм, ограничивающий разрешение после коррекции Cs.
Сочетание ASCOR и Cold FEG обеспечивает низкую хроматическую аберрацию и расширяет дифракционный предел, достигая небывало высокого разрешения.

GaN [211]:200 кВ

Si [110]:80 кВ

Графен (монослой): 30 кВ

• Изображение STEM по конфигурации UHR

Изображения атомного разрешения, полученные с помощью ADF-STEM, их паттерны БПФ и изображения рончограмм, полученные при 200 кВ, 80 кВ и 30 кВ

рраций JEOL COSMO™ (модуль корректирующей системы)

В системе JEOL COSMO™ используется новый алгоритм коррекции аберраций (SRAM: Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix). Таким образом, для коррекции аберраций не требуется специальный образец, что обеспечивает высокую точность и быстроту коррекции аберраций высших порядков. Эта система обеспечивает быструю обработку по сравнению с традиционным алгоритмом коррекции, а также автоматизирует операции, устраняя тем самым сложный процесс коррекции в микроскопе клиента. Эти функции обеспечивают более высокую производительность получения изображений с атомным разрешением.

Образец: Si[110]
Ускоряющее напряжение: 200 кВ