МОДЕЛЬ 1064 ChipMill

Источник

• Тип: с горячей нитью накала, электронно-ударный
• Энергия пучка: от 100 эВ до 10 кэВ; непрерывная регулировка с шагом 5 эВ
• Диаметр пучка: от 0,5 до 2 мм; регулируемый, зависит от уровня энергии
• Максимальный ток: 10 мкА
• Плотность тока: 5 мА/см² (10 мкА при диаметре пучка 0,5 мм)
• Рабочее расстояние: от 25 до 100 мм
• Диапазон растрирования: 10 мм
• Управление пучком: электростатическое отклонение по осям X–Y
• Срок службы нити накала: 200 часов
• Обслуживание нити накала: простая замена
• Охлаждение: воздушное

Загрузочный шлюз (Load lock)

• Время откачки: < 60 секунд
• Время напуска: < 20 секунд

Пользовательский интерфейс

• Управление через 254 мм (10 дюймов) сенсорный экран, эргономично регулируемый

Равномерность фрезерования

• Для области фрезерования диаметром 10 мм: планарность поверхности лучше 50 нм

Пользовательский интерфейс

• Удобный интерфейс для задания параметров ионного фрезерования и отображения изображений и аналитических данных
• Сенсорный экран, расположенный рядом с загрузочным шлюзом, облегчает замену образцов
• Световая сигнальная колонна (stack light) позволяет определять статус процесса фрезерования на расстоянии
• Удалённое управление

Автоматическое завершение процесса

• Процессы ионного фрезерования могут автоматически завершаться по времени, по структуре чипа или по химическому составу.

Столик образца

• Плоскость фрезерования: определяется автоматическим обнаружением высоты
• Диапазон углов фрезерования: от 0 до 10°
• Вращение: непрерывное, 360°
• Покачивание (rocking): от 0 до 179°; регулируется с шагом 1°
• Размер образца: 15 × 15 мм, толщина 3 мм или менее
• Область фрезерования: диаметр 10 мм

Получение изображений образца

• Камера
• Поле зрения: 1 см

Электронно-лучевая колонна

• Диапазон ускоряющего напряжения: от 0,5 до 10 кВ
• Разрешение: 100 нм
•  Рабочее расстояние: 16 мм

Детекторы

• Детектор вторичных электронов (SED)
• Детектор обратнорассеянных электронов (BSE)
• Детектор энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDS)
• Детектор масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS)

Процессный газ

• Тип: аргон
• Чистота: ≥ 99,995 %
• Расход: регулируемый, ~0,1 sccm
• Номинальное давление: от 15 до 30 psi

Управляющий газ

• Тип: аргон, сухой N₂ или чистый сухой воздух
• Номинальное давление: 55 psi ± 5 psi

Вакуумная система

• Двухступенчатая откачка: безмасляный диафрагменный насос и турбомолекулярный насос
• Датчик вакуума: комбинированный датчик Пирани и холодного катода полного диапазона

Рабочий газ

• Аргон ≥ 99,999% чистоты (ультравысокий, класс 5.0)
• Автоматическое управление газом с использованием трех массовых расходомеров.

Контрольный газ

• Азот ≥ 99,99% чистоты (высокий, класс 4.0) или чистый сухой воздух (CDA).

Вакуумная система

• Турбомолекулярный насос с поддержкой многоступенчатого диафрагменного насоса без масла.
• Контроль вакуума с помощью холодного катода и датчика полного диапазона.

Корпус (Enclosure)

• Ширина: 112 см [44,1 дюйма]
• Высота: 180,6 см [71,1 дюйма]
• Глубина: 52,4 см [20,6 дюйма]
• Масса: 287 кг [632 фунта]

Электропитание

• 220/240 В, 50/60 Гц, 1500 Вт

Гарантия

• Один год